流量準(zhǔn)確度 | ±1%F.S |
流量線性度 | ±0.5%F.S |
流量重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
稀釋氣體流量范圍 | 0~20SLM;0~10SCCM 可根據(jù)需求選擇 |
稀釋比 | 200:1、100:1 (訂制可選) |
最大配比 | 2000:1、4000:1(訂制可選) |
輸入壓力 | 100Kpa~500Kpa |
顯示方式 | 800×480液晶7寸觸摸屏 |
環(huán)境溫度 | 5℃~+40℃ |
環(huán)境濕度 | <85%RH(無(wú)冷凝) |
設(shè)備耐壓 | <1Mpa |
工作壓差范圍 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
工作電源 | 220VAC, 50±0.5Hz |
稀釋氣體流量 | □0~10SLM; □0~5SLM; □0~5SLM; □0~1SLM; □0~500SCCM |
單只量程比 | 100:1/200:1 |
最大配比 | 4000:1 (根據(jù)配置) |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤50ms (配氣) |
輸入壓力 | (0.2-11)MPa |
最大功率 | 300W (加熱至350℃時(shí)),其中電磁閥最大功率:24W |
儀器外形尺寸 | 480mm×285mm×452mm |
儀器重量 | 25KG |